| 序号 | 股东名称 | 持股数量 | 流通% | 更新日期 |
| 1 | 辽宁科发实业有限公司 | 14700574股 | 10.6613% | 2024-06-30 |
| 2 | 沈阳先进制造技术产业有限公司 | 14530286股 | 10.5378% | 2024-06-30 |
| 3 | 沈阳中科天盛自动化技术有限公司 | 11655000股 | 8.4526% | 2024-06-30 |
| 4 | 香港中央结算有限公司 | 4635710股 | 3.362% | 2024-06-30 |
| 5 | 中国建设银行股份有限公司-南方信息创新混合型证券投资基金 | 2677628股 | 1.9419% | 2024-06-30 |
| 6 | 中国科技产业投资管理有限公司 | 2523400股 | 1.83% | 2024-06-30 |
| 7 | 周冰冰 | 2481866股 | 1.7999% | 2024-06-30 |
| 8 | 宗润福 | 2435273股 | 1.7661% | 2024-06-30 |
| 9 | 中国农业银行股份有限公司-东方人工智能主题混合型证券投资基金 | 2353451股 | 1.7068% | 2024-06-30 |
| 10 | 中国建设银行股份有限公司-银华集成电路混合型证券投资基金 | 2280000股 | 1.6535% | 2024-06-30 |
| 11 | 辽宁科发实业有限公司 | 14700574股 | 10.661% | 2024-03-31 |
| 12 | 沈阳先进制造技术产业有限公司 | 14530286股 | 10.538% | 2024-03-31 |
| 13 | 沈阳中科天盛自动化技术有限公司 | 11655000股 | 8.453% | 2024-03-31 |
| 14 | 香港中央结算有限公司 | 4635710股 | 3.362% | 2024-03-31 |
| 15 | 中国建设银行股份有限公司－南方信息创新混合型证券投资基金 | 2677628股 | 1.942% | 2024-03-31 |
| 16 | 中国科技产业投资管理有限公司 | 2523400股 | 1.83% | 2024-03-31 |
| 17 | 周冰冰 | 2481866股 | 1.8% | 2024-03-31 |
| 18 | 宗润福 | 2435273股 | 1.766% | 2024-03-31 |
| 19 | 中国农业银行股份有限公司－东方人工智能主题混合型证券投资基金 | 2353451股 | 1.707% | 2024-03-31 |
| 20 | 中国建设银行股份有限公司－银华集成电路混合型证券投资基金 | 2280000股 | 1.654% | 2024-03-31 |
| 21 | 辽宁科发实业有限公司 | 14700574股 | 10.661% | 2024-02-21 |
| 22 | 沈阳先进制造技术产业有限公司 | 14530286股 | 10.538% | 2024-02-21 |
| 23 | 沈阳中科天盛自动化技术有限公司 | 11655000股 | 8.453% | 2024-02-21 |
| 24 | 香港中央结算有限公司 | 4789178股 | 3.473% | 2024-02-21 |
| 25 | 中国建设银行股份有限公司-南方信息创新混合型证券投资基金 | 2677628股 | 1.942% | 2024-02-21 |
| 26 | 中国科技产业投资管理有限公司 | 2523400股 | 1.83% | 2024-02-21 |
| 27 | 周冰冰 | 2456866股 | 1.782% | 2024-02-21 |
| 28 | 宗润福 | 2435273股 | 1.766% | 2024-02-21 |
| 29 | 中国农业银行股份有限公司-东方人工智能主题混合型证券投资基金 | 2374418股 | 1.722% | 2024-02-21 |
| 30 | 中国建设银行股份有限公司-银华集成电路混合型证券投资基金 | 2373842股 | 1.722% | 2024-02-21 |
| 31 | 沈阳先进制造技术产业有限公司 | 15909156股 | 11.538% | 2023-12-31 |
| 32 | 辽宁科发实业有限公司 | 14700574股 | 10.661% | 2023-12-31 |
| 33 | 沈阳中科天盛自动化技术有限公司 | 11655000股 | 8.453% | 2023-12-31 |
| 34 | 香港中央结算有限公司 | 3154229股 | 2.288% | 2023-12-31 |
| 35 | 中国科技产业投资管理有限公司 | 2523400股 | 1.83% | 2023-12-31 |
| 36 | 宗润福 | 2435273股 | 1.766% | 2023-12-31 |
| 37 | 周冰冰 | 2426866股 | 1.76% | 2023-12-31 |
| 38 | 中国农业银行股份有限公司－东方人工智能主题混合型证券投资基金 | 2292533股 | 1.663% | 2023-12-31 |
| 39 | 中国建设银行股份有限公司－南方信息创新混合型证券投资基金 | 2281397股 | 1.655% | 2023-12-31 |
| 40 | 中国建设银行股份有限公司－银华集成电路混合型证券投资基金 | 2206077股 | 1.6% | 2023-12-31 |
| 41 | 沈阳先进制造技术产业有限公司 | 15909156股 | 11.575% | 2023-09-30 |
| 42 | 辽宁科发实业有限公司 | 14700574股 | 10.695% | 2023-09-30 |
| 43 | 沈阳中科天盛自动化技术有限公司 | 11655000股 | 8.48% | 2023-09-30 |
| 44 | 中国科技产业投资管理有限公司 | 2523400股 | 1.836% | 2023-09-30 |
| 45 | 周冰冰 | 2426866股 | 1.766% | 2023-09-30 |
| 46 | 宗润福 | 2404193股 | 1.749% | 2023-09-30 |
| 47 | 中国建设银行股份有限公司－银华集成电路混合型证券投资基金 | 2325195股 | 1.692% | 2023-09-30 |
| 48 | 中国建设银行股份有限公司－南方信息创新混合型证券投资基金 | 2165545股 | 1.576% | 2023-09-30 |
| 49 | 国泰君安证券股份有限公司－国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 2132690股 | 1.552% | 2023-09-30 |
| 50 | 中国农业银行股份有限公司－东方人工智能主题混合型证券投资基金 | 2078056股 | 1.512% | 2023-09-30 |
| 51 | 沈阳先进制造技术产业有限公司 | 15909156股 | 11.575% | 2023-06-30 |
| 52 | 辽宁科发实业有限公司 | 14404574股 | 10.48% | 2023-06-30 |
| 53 | 沈阳中科天盛自动化技术有限公司 | 11655000股 | 8.48% | 2023-06-30 |
| 54 | 中国科技产业投资管理有限公司 | 2523400股 | 1.836% | 2023-06-30 |
| 55 | 周冰冰 | 2426866股 | 1.766% | 2023-06-30 |
| 56 | 宗润福 | 2404193股 | 1.749% | 2023-06-30 |
| 57 | 中国建设银行股份有限公司－银华集成电路混合型证券投资基金 | 1814933股 | 1.32% | 2023-06-30 |
| 58 | 招商银行股份有限公司－东方阿尔法优势产业混合型发起式证券投资基金 | 1627644股 | 1.184% | 2023-06-30 |
| 59 | 国泰君安证券股份有限公司－国联安中证全指半导体产品与设备交易型开放式指数证券投资基金 | 1562819股 | 1.137% | 2023-06-30 |
| 60 | 中国银行股份有限公司－国泰CES半导体芯片行业交易型开放式指数证券投资基金 | 1407094股 | 1.024% | 2023-06-30 |
| 61 | 沈阳先进制造技术产业有限公司 | 9829430股 | 10.613% | 2023-03-31 |
| 62 | 辽宁科发实业有限公司 | 9032820股 | 9.753% | 2023-03-31 |
| 63 | 沈阳中科天盛自动化技术有限公司 | 7913447股 | 8.544% | 2023-03-31 |
| 64 | 中国科技产业投资管理有限公司 | 2360000股 | 2.548% | 2023-03-31 |
| 65 | 周冰冰 | 1946005股 | 2.101% | 2023-03-31 |
| 66 | 宗润福 | 1935455股 | 2.09% | 2023-03-31 |
| 67 | 中国工商银行股份有限公司－金信稳健策略灵活配置混合型发起式证券投资基金 | 1156633股 | 1.249% | 2023-03-31 |
| 68 | 香港中央结算有限公司 | 1091627股 | 1.179% | 2023-03-31 |
| 69 | 中国工商银行股份有限公司－诺安成长混合型证券投资基金 | 899106股 | 0.971% | 2023-03-31 |
| 70 | 李风莉 | 826250股 | 0.892% | 2023-03-31 |
| 71 | 沈阳先进制造技术产业有限公司 | 10699783股 | 11.553% | 2022-12-31 |
| 72 | 中国科学院沈阳自动化研究所 | 10500000股 | 11.337% | 2022-12-31 |
| 73 | 辽宁科发实业有限公司 | 9032820股 | 9.753% | 2022-12-31 |
| 74 | 中国科技产业投资管理有限公司 | 3265000股 | 3.525% | 2022-12-31 |
| 75 | 宗润福 | 2165455股 | 2.338% | 2022-12-31 |
| 76 | 中国工商银行股份有限公司－诺安成长混合型证券投资基金 | 2043380股 | 2.206% | 2022-12-31 |
| 77 | 周冰冰 | 1946005股 | 2.101% | 2022-12-31 |
| 78 | 银华基金－中国人寿保险股份有限公司－传统险－银华基金国寿股份成长股票传统可供出售单一资产管理计划 | 1368268股 | 1.477% | 2022-12-31 |
| 79 | 李风莉 | 1061250股 | 1.146% | 2022-12-31 |
| 80 | 中国工商银行股份有限公司－金信稳健策略灵活配置混合型发起式证券投资基金 | 888000股 | 0.959% | 2022-12-31 |
| 81 | 中国科技产业投资管理有限公司 | 4025400股 | 8.931% | 2022-09-30 |
| 82 | 招商银行股份有限公司－银河创新成长混合型证券投资基金 | 2580000股 | 5.724% | 2022-09-30 |
| 83 | 周冰冰 | 2404750股 | 5.335% | 2022-09-30 |
| 84 | 中国银行股份有限公司－国泰CES半导体芯片行业交易型开放式指数证券投资基金 | 947286股 | 2.102% | 2022-09-30 |
| 85 | 交通银行股份有限公司－南方成长先锋混合型证券投资基金 | 878843股 | 1.95% | 2022-09-30 |
| 86 | 中国工商银行股份有限公司－诺安成长混合型证券投资基金 | 821174股 | 1.822% | 2022-09-30 |
| 87 | 全国社保基金一一六组合 | 789020股 | 1.751% | 2022-09-30 |
| 88 | 王绍勇 | 711674股 | 1.579% | 2022-09-30 |
| 89 | 招商银行股份有限公司－南方科创板3年定期开放混合型证券投资基金 | 685513股 | 1.521% | 2022-09-30 |
| 90 | 中国工商银行股份有限公司－招商移动互联网产业股票型证券投资基金 | 658409股 | 1.461% | 2022-09-30 |
| 91 | 中国科技产业投资管理有限公司 | 5000000股 | 11.093% | 2022-06-30 |
| 92 | 周冰冰 | 2859750股 | 6.345% | 2022-06-30 |
| 93 | 招商银行股份有限公司－银河创新成长混合型证券投资基金 | 1183185股 | 2.625% | 2022-06-30 |
| 94 | 交通银行股份有限公司－南方成长先锋混合型证券投资基金 | 1047891股 | 2.325% | 2022-06-30 |
| 95 | 中国银行股份有限公司－国泰CES半导体芯片行业交易型开放式指数证券投资基金 | 880154股 | 1.953% | 2022-06-30 |
| 96 | 全国社保基金一一六组合 | 789020股 | 1.751% | 2022-06-30 |
| 97 | 王绍勇 | 756000股 | 1.677% | 2022-06-30 |
| 98 | 中国建设银行股份有限公司－南方科技创新混合型证券投资基金 | 677464股 | 1.503% | 2022-06-30 |
| 99 | 中国工商银行股份有限公司－博时科创板三年定期开放混合型证券投资基金 | 638191股 | 1.416% | 2022-06-30 |
| 100 | 沈阳科技风险投资有限公司 | 557874股 | 1.238% | 2022-06-30 |
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